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EDWARDS復合渦輪分子泵

簡要描述:BOC Edwards EXT泵適用于除zui苛刻的半導體應用和科學應用(這些領域可使用STP系列泵)以外的任何領域。EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷軸承和磁懸浮軸承的組合形式。陶瓷軸承與傳統軸承相比具有更輕、更硬和更平穩的優點,以及壽命長、小振動的優點。由于軸承滾珠和軸承座使用了不同材料,防止了微小凹陷而提高可靠性。

  • 產品型號:EXT75DX
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2025-06-18
  • 訪  問  量:2858
  • 產品資料:

詳細介紹

品牌Edwards/愛德華產地進口
加工定制


性能特點

兼容TIC渦輪儀表控制器。

多種通訊模式。

并口,用于傳統控制信號接口。

串口,用于RS-232接口。

通過RS-232接口,用戶可以設置各種參數RS-232。

正常泵速顯示。

準備轉速顯示。

泵溫。

增強型泵速、功耗、溫度監測。

技術數據

入口法蘭                       DN63ISO-K

壓縮比

N2                            >1 x 10E11

He                            1 x 10E6

出口法蘭                       DN16NW

級間口(Hi型)                DN25NW

放氣口                         1/8 inch BSP

吹掃凈化口                     1/8 inch BSP

zui高入口壓力(抽輕氣體) *

水冷(水溫15°C,大氣溫度40°C)     2 x 10E-2 mbar

空冷(大氣溫度35°C)                 1 x 10E-2 mbar

額定轉速                       90000 rpm

工作轉速                       49500~90000 rpm (缺省 63000 rpm)

轉速達到90%所需時間 **        110 s

冷卻方式                       空冷/水冷

大氣溫度(空冷)               5-35 °C

冷卻水zui低流速(水溫15 °C    15 l/h

水溫范圍                       10-20 °C

入口法蘭zui高溫度               100 °C

工作姿態                       垂直

噪音(1m處)                  <50 dB(A)

控制器(推薦)                 TIC100 渦輪控制器或TIC100渦輪儀表控制器

重量                           3.0 kg


   前級泵也可以使用抽速更大的旋片泵,還可使用極限真空小于5mbar的隔膜泵。
   * 超出該入口壓力時,轉速為額定轉速。
   ** 此時功率80W。
   *** 沒安裝入口篩網。安裝篩網時,泵速下降約10%。
       前級泵為兩級旋片泵,并烘烤48小時。
       Pb<5 mbar(500 Pa)并烘烤48小時。

訂貨信息


描述

貨號

EXT75DX ISO63

B722-41-000

EXT75DX CF63

B722-42-000

EXT75DX NW40

B722-43-000

EXT75DX ISO100

B722-45-000

EXT75iDX ISO63 級間法蘭DN25NW

B722-38-000

TIC 渦輪控制器 100W RS232

D397-11-000

TIC 渦輪儀表控制器 100W RS232

D397-21-000








































































































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